即每立方米空气中的固体颗粒物应少于10万个
直径大于0.5微米的颗粒物应少于3500个

同一洁净度等级的洁净室之间的压差应一致
不同洁净度等级的相邻洁净室之间的压差应≥5Pa
洁净室与非洁净室之间的压差应≥10Pa
这主要是为了保证空气从洁净区流向不洁净区
避免空气倒流

温度一般控制在冬季20~22℃；夏季24~26℃；波动范围2℃
洁净室的湿度冬季控制在30~50%，夏季控制在50~70%